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平面显示器(FPD)大尺寸样品专用测试仪

No.G547C042193E38
从规划设计、开发制造、到现场安装调整及教学支援等,皆秉持一贯的品质自行完成。
面对市场多元化的需求,以优异的技术、丰富的实绩、安心的售后服务,提供最完善的膜厚解析方案。
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产品特点:                                                           

从规划设计、开发制造、到现场安装调整及教学支援等,皆秉持一贯的品质自行完成。

面对市场多元化的需求,以优异的技术、丰富的实绩、安心的售后服务,提供最完善的膜厚解析方案。

显示器面板膜厚分析设备FE series:                                   

解析面板显示器制程中持续进化的各种薄膜

高精度测量各种玻璃基板上的多层膜及光学常数。最新的10代基板尺寸,LCD、TFT、PDP、OLED(有机EL)等制程所需的膜层解析皆有完整的解决方案。

 

用途                                                               

LCD

ITO/Glass、PI/OC/Glass、CF/Glass、Resist/Glass

TFT

SiN/a-SI/Glass

OLED

OLED/ITO/Glass

PDP

诱电体层/Glass


半导体膜厚分析设备FE series:                                       

对应φ300mm晶圆的全自动搬送系统:

可搭配各种Load/Unload搬送规格,从R&D到生产线皆可灵活运用的膜厚解析系统。1件样品中,测量5个点位仅需30秒以下的高速膜厚评价。

 

用途                                                                

 Si半导体晶圆膜

SiO2/Si、Resist/Si、SiO2/a-Si、SiO2/SiN/SiO2

半导体膜

TEOS、SiNX、SiOx等

化合物半导体

GaAs、GaN、InGaAs等

其它

光学材料、诱导体材料、金属膜等

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Rayscience Optoelectronic Innovation Co., Ltd 

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