产品特点:
从规划设计、开发制造、到现场安装调整及教学支援等,皆秉持一贯的品质自行完成。
面对市场多元化的需求,以优异的技术、丰富的实绩、安心的售后服务,提供最完善的膜厚解析方案。
显示器面板膜厚分析设备FE series:
解析面板显示器制程中持续进化的各种薄膜:
高精度测量各种玻璃基板上的多层膜及光学常数。最新的10代基板尺寸,LCD、TFT、PDP、OLED(有机EL)等制程所需的膜层解析皆有完整的解决方案。
用途:
LCD
ITO/Glass、PI/OC/Glass、CF/Glass、Resist/Glass
TFT
SiN/a-SI/Glass
OLED
OLED/ITO/Glass
PDP
诱电体层/Glass
半导体膜厚分析设备FE series:
对应φ300mm晶圆的全自动搬送系统:
可搭配各种Load/Unload搬送规格,从R&D到生产线皆可灵活运用的膜厚解析系统。1件样品中,测量5个点位仅需30秒以下的高速膜厚评价。
Si半导体晶圆膜
SiO2/Si、Resist/Si、SiO2/a-Si、SiO2/SiN/SiO2
半导体膜
TEOS、SiNX、SiOx等
化合物半导体
GaAs、GaN、InGaAs等
其它
光学材料、诱导体材料、金属膜等