产品特点：
Ø 薄膜到厚膜的测量范围、UV～NIR光谱分析。
Ø 高性能的低价光学薄膜测量仪。
Ø 藉由绝对反射率光谱分析膜厚。
Ø 完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能。
Ø 无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手。
Ø 非线性最小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
产品规格：
型号
FE-300V
FE-300UV
FE-300NIR
对应膜厚
标准型
薄膜型
厚膜型
超厚膜型
样品尺寸
最大8寸晶圆（厚度5mm）
膜厚范围
100nm~40μm
10nm~20μm
3μm~30μm
15μm~1.5mm
波长范围
450nm~780nm
300nm~800nm
900nm~1600nm
1470nm~1600nm
膜厚精度
±0.2nm以内
-
重复再现性(2σ)
0.1nm以内
测量时间
0.1s～10s以内
测量口径
约Φ3mm
光源
卤素灯
UV用D2灯
通讯界面
USB
尺寸重量
280（W）×570（D）×350（H）mm，约24kg
软件功能
标准功能
波峰波谷解析、FFT解析、最适化法解析、最小二乘法解析
选配功能
材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析
应用范围：
Ø 半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2等)
Ø 光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)
应用范例：
Ø PET基板上的DLC膜
Ø Si基板上的SiNx
