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椭圆偏光膜厚测量仪(手动)

No.G5478382B5F92E
400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱。
自动变更反射测量角度,可得到更详细的薄膜解析数据。
采用正弦杆自动驱动方式,展现测量角度变更时优异的移动精度。
搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能。
可测量晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
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产品特点:                                                           

Ø 400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱。

Ø 自动变更反射测量角度,可得到更详细的薄膜解析数据。

Ø 采用正弦杆自动驱动方式,展现测量角度变更时优异的移动精度。

Ø 搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能。

Ø 可测量晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。

 

产品规格:                                                            

样品对应尺寸

100×100mm

测量方式

偏光片元件回转方式

入射/反射角度范围

45~90o

入射/反射角度驱动方式

反射角度可自动变更

波长测量范围

300~800nm

分光元件

Poly-chrometer

尺寸

650(H)×400(D)×560(W)mm

重量

约50kg

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Rayscience Optoelectronic Innovation Co., Ltd 

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