产品特点：
Ø 400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速测量椭圆偏光光谱。
Ø 自动变更反射测量角度，可得到更详细的薄膜解析数据。
Ø 采用正弦杆自动驱动方式，展现测量角度变更时优异的移动精度。
Ø 搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能。
Ø 可测量晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
产品规格：
样品对应尺寸
100×100mm
测量方式
偏光片元件回转方式
入射/反射角度范围
45～90o
入射/反射角度驱动方式
反射角度可自动变更
波长测量范围
300～800nm
分光元件
Poly-chrometer
尺寸
650（H）×400（D）×560（W）mm
重量
约50kg
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