产品特点:
Ø 400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱。
Ø 自动变更反射测量角度,可得到更详细的薄膜解析数据。
Ø 采用正弦杆自动驱动方式,展现测量角度变更时优异的移动精度。
Ø 搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能。
Ø 可测量晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
产品规格:
样品对应尺寸
100×100mm
测量方式
偏光片元件回转方式
入射/反射角度范围
45~90o
入射/反射角度驱动方式
反射角度可自动变更
波长测量范围
300~800nm
分光元件
Poly-chrometer
尺寸
650(H)×400(D)×560(W)mm
重量
约50kg