薄膜应力测量系统

技术指标：

•1.XY双向程序控制扫描平台扫描范围：200mm；300mm (XY)（可选）；

•2.XY双向扫描速度：最大20mm/s；

•3.XY双向扫描平台扫描最小步进/分辨率：2 μm ；

•4.薄膜应力测量范围：5×104Pa to 4×109Pa）；

•5.薄膜应力测量分辨率：优于0.1MPa;

•6.测量精度：优于±0.1%；

•7.测量重复性：优于0.1%；

•8.平均曲率分辨率：< 2e-5 (1/m) 1-sigma (100km radius) ；

•9.平均曲率重复性：<2×10e-5 1/m；

主要特点：

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Rayscience Optoelectronic Innovation Co., Ltd 
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