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美国Angstrom Advanced光谱椭偏仪
光谱椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构特性的光学测量设备，是随着现代科技的发展而迅速发展起来的光学无损检测方法。可测的样品包括大块材料、薄膜以及在平面基底上生长或沉积的多层结构。多层固体、液体、与固体相邻的液体以及与固体接触的气相等离子体的特性等都可以用这一技术来探测。由于与样品非接触，对样品没有破坏并且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的探测设备。它已越来越广泛的用于介电、半导体、金属、有机物等各种材料的光学特性、结构特征、生长过程和材料质量的快速测试与研究。此红外椭圆偏振光谱仪（简称椭偏仪）是当今国际上唯一一种红外波段、单色仪分光形式的椭圆偏振光谱仪，它具有高准确度，高精度和比基于红外傅里叶光谱仪的椭偏光谱仪便宜得多等优点。
目前已有紫外-近红外波段椭圆偏振光谱仪、可见波段椭圆偏振光谱仪、单色椭偏仪等全波段系列产品，其性能参数国内领先、达到国际先进水平，是具有自主知识产权的高精度、高灵敏度分析测试科学仪器。以其国际一流的性能和性价比，已越来越多的销往美国、欧洲等国外市场。该仪器将成为国内外各研究单位、高等院校以及高新技术企业不可缺少的研究设备和测试分析仪器
产品特点： Angstrom Advanced Inc 是一家专业研发、生产多种不同规格型号的椭偏仪的美国公司，其产品在全球的占有量处于领先地位。在其产品家族里包括：单波长、多波长（波长范围可达
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型号 参数 |
PHE-101 |
PHE-102 |
PHE-103 |
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光源 |
氦-氖激光器 |
氙灯 |
氙灯 |
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波长范围 |
632.8nm |
250-1100nm(190-1100nm) 250-1700(250-2300nm) |
250-1100nm(190-1100nm) 250-1700(250-2300nm) |
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光斑直径 |
1 |
1 |
1 |
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厚度范围 |
0-6000nm |
0-3000nm |
0-3000nm |
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角度调节 |
20°-90°，5°/步 |
20°-90°，5°/步 |
20°-90°，5°/步 |
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测量时间 |
小于1秒 |
典型的测量包括数据分析1-2秒 |
典型的测量包括数据分析1-2秒 |
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折射率精度 |
±0.0001 |
±0.0001 |
±0.0001 |
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膜厚测量精度 |
±0.005 nm |
±0.01nm |
±0.01nm |
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稳定性 |
±0.01° in D |
±0.01° in D |
±0.01° in D |
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样品台 |
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图示 |
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4.对实验数据进行回归分析拟合产生预期结果。对拟合结果进行90%可信度评价和给出拟合参数相关矩阵分析； |
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5.具有Cauchy、EMA和Lorenz等多种色散关系和大量数据库； |
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6.允许用户自定义色散模型； |
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7.具有数据和图形输出功能. |
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PhE-102 可见椭圆偏振光谱仪 |
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·光谱范围: 350nm - 850nm （可扩展至1100nm） |
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·光谱分辨率: 1nm | |
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·光斑直径: 1mm -3mm | |
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·光束发散角: 0.5° | |
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·入射角范围: 20°to 90°，5°/步 | |
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·重复性: Psi=±0.01°，Delta=±0.02° | |
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·样品台：Φ160mm，Φ200mm（可选） | |
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1.Microsoft Windows 32位操作环境 |
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2.集成化自动数据采集、数据分析软件 |
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3.具有反射、透射测试功能； |
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