4探针测试系统（4 point probe measurement system)

表面电阻测量：
- 测量模式 : 接触式 4-探针
- 测量范围  : 1 mohm/sq ∼ 2 Mohm/sq

电阻率测量：
- 测量模式 : 接触式 4-探针 (可输入厚度)
- 测量范围 : 10.0 μohm·cm ∼ 200.0 kohm·cm

电流：
- 10nA to 100mA
- DVM 0V to 2,000mV

测量精度：
- ± 0.5 % (VLSI 标准wafer,  23°C)


软件系统：
- 测量条件灵活 : Wafer type, 点间隔测量, etc.
- 储存& 下载 : 数据, wafer 型, 测试点, etc.
- 数据分析 : 2D, 3D mapping, data map, etc.
- On/Off : 电脑操控, 真空
- 数据 & mapping 可打印

测量模式 (S/W)
-自动检测: Point interval designation by user
-快速检测 : ASTM & SEMI Mode
-点测量: Appointment on wafer by mouse
-手动检测 : Appointment on wafer by arrow key