太阳能晶片检测:
太阳能晶片检测
多晶和单晶硅片的生产过程是一个复杂的机械,化学,热学,电物理学过程。从硅碇上切割硅片后,经过刻蚀和表面掺杂。这些工艺,以及工艺间晶片的抓取传输都会引入应力,导致一些缺陷,例如:微裂隙、针孔、掺杂、污垢