平面显示器（FPD）大尺寸样品专用测试仪

产品特点：                                                           

从规划设计、开发制造、到现场安装调整及教学支援等，皆秉持一贯的品质自行完成。

面对市场多元化的需求，以优异的技术、丰富的实绩、安心的售后服务，提供最完善的膜厚解析方案。

半导体膜厚分析设备FE series：                                       

对应φ300mm晶圆的全自动搬送系统：

可搭配各种Load/Unload搬送规格，从R&D到生产线皆可灵活运用的膜厚解析系统。1件样品中，测量5个点位仅需30秒以下的高速膜厚评价。

用途：