非接触式电阻率测试仪 Contactless Resistivity Systems

非接触式电阻率测试仪 Contactless Resistivity Systems

应用领域：半导体和太阳能制造工艺过程中手动测量电子迁移率（EM）。

设备特性：CRS4000迁移率测试机用于半导体和太阳能制造工艺过程中手动测量电子迁移率（EM）。它采用了非接触式测试，适用于工艺开发、原型、低量产和小批量生产。研究人员能在每次外延层沉积后测量电子迁移率，测量范围约在300–20,000 cm2/Vsec，对片式电阻的测量范围为~100 Ω/square到3 kΩ/square，该设备并具有工艺绘图能力。CRS4000取代了目前广泛采用的范德堡（Van Der Pauw）四点探针法、霍尔效应、平行六面体或桥式法，来测量电子迁移率、载流子密度、载流子浓度和片式电阻。相对于那些常用的破坏性测试方法，CRS4000不具破坏性，能提供关键的、精确的原位工艺控制测量。