嵌入式膜厚测量仪

产品特点：                                                           

Ø 自由搭配的光纤架构，可安装于生产线上、半导体晶圆研磨设备或真空镀膜设备中。

Ø 远端同步控制、高速多点同步测量等。

Ø 丰富多样的光学系统套件与应用软件，提供特殊环境下最理想的膜厚解决方案。

 

产品架构：                                                            

  

Ø 半导体晶圆面内分布测量 

Ø 玻璃基板面内分布测量

Ø 即时性量测

Ø 输送方向的定点品质管理

Ø 对应真空环境之设备

Ø 即时性测量

Ø 输送方向的全面品质管理