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膜厚测量仪
 
   
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膜厚测量仪

薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析。 高性能的低价光学薄膜测量仪。 藉由绝对反射率光谱分析膜厚。 完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能。 无复杂设定,操作简单,短时间内即可上手。 非线性最小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)

  • 商品编号:G54783B57F24A4
  • 货  号:G54783B57F24A4
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产品特点:                                                           

Ø 薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析。

Ø 高性能的低价光学薄膜测量仪。

Ø 藉由绝对反射率光谱分析膜厚。

Ø 完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能。

Ø 无复杂设定,操作简单,短时间内即可上手。

Ø 非线性最小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)。


产品规格:                                                            

型号

FE-300V

FE-300UV

FE-300NIR

对应膜厚

标准型

薄膜型

厚膜型

超厚膜型

样品尺寸

最大8寸晶圆(厚度5mm

膜厚范围

100nm~40μm

10nm~20μm

3μm~30μm

15μm~1.5mm

波长范围

450nm~780nm

300nm~800nm

900nm~1600nm

1470nm~1600nm

膜厚精度

±0.2nm以内

±0.2nm以内

-

-

重复再现性(2σ)

0.1nm以内

0.1nm以内

-

-

测量时间

0.1s10s以内

测量口径

Φ3mm

光源

卤素灯

UV用D2

卤素灯

卤素灯

通讯界面

USB

尺寸重量

280W×570D×350Hmm,约24kg

软件功能

标准功能

波峰波谷解析、FFT解析、最适化法解析、最小二乘法解析

选配功能

材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析

 应用范围:                                                            

Ø 半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2等)

Ø 光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)


应用范例:                                                            

Ø PET基板上的DLC膜

Ø Si基板上的SiNx

 

 

 

 

 

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