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Silicon Nitride Coating Systems for Multi-crystalline Silicon Solar Cells
 
 
Silicon Nitride Coating Systems for Multi-crystalline Silicon Solar Cells
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Silicon Nitride Coating Systems for Multi-crystalline Silicon Solar Cells

Silicon Nitride Coating Systems for Multi-crystalline Silicon Solar Cells

  • 商品编号：G53D5F1EE783F3
  • 货　　号：G53D5F1EE783F3
  • 品　　牌：MVSystems
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Silicon Nitride Coating Systems for Multi-crystalline Silicon Solar Cells
用于制备多晶硅太阳电池的氮化硅涂层沉积设备
Throughput: >475 wafers/hr
SiNx uniformity: < 5%
产率：>475硅片/小时。
氮化硅膜不均匀性：< 5%。

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