MProbe Vis
微点薄膜厚度光学测量仪
MProbe让你成为测量专家 !
大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量:氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si, aSi,polySi)、硬涂层(SiC, DLC), 聚合物涂料 (Paralene,PMMA,聚酰胺),薄金属薄膜等。
MProbe系统
精度 |
0.01nm或0.01% |
精确度 |
0.2% 或1nm |
稳定性 |
0.02nm或0.03% |
光斑尺寸 |
标准为3mm, 低至3μm |
样本大小 |
从1 mm |
厚度范围: 15 nm-50 um
波长范围: 400nm -1100 nm
LCD, FPD应用: ITO, 细胞间隙,聚酰胺。光学涂层: 介质滤波器,硬涂层,防反射涂层半导体和电解质: 氧化物,氮化物, OLED堆
实时测量和分析。各种多层次的, 薄的,厚的,独立和不均匀层。
丰富的材料库 (500多种材料) – 新材料容易增添。Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA 等
使用灵活: 可联网在操作台桌面或现场进行研究与开发。
用TCP或Modbus接口能容易的和外部系统连接。
测量参数:厚度、光学常数、表面粗糙度。
界面友好强大: 测量和分析设置简单。
实用的工具:仿真和灵敏度分析,背景和缩放修正,连接层和材料,多样品测量,动态测量和生产批量处理。
测量300 nm 硅氧化膜 测量与模型数据拟合
主要参数
从硅晶片原反射比。信号最大(16位)。
积分时间:10ms
光谱范围 (nm) |
400-1100 |
分光仪/检测器 |
分光仪F4,Si CCD 3600像素,16位ADC, |
光谱分辨率 |
<2 nm (标准) |
光源 |
卤钨灯(Xe填充)5W, CT 2800o |
反射比探测 |
光导纤维(7纤维束), |
精度 |
<0.01 nm或0.01% |
准确度 |
<1nm或0.2% |
重量 |
4 kg |
尺寸 |
8”x 10” x 4” (WxDxH) |
功率 |
100-250VAC, 50/60 Hz |
测量500nm AlN. 测量参数:厚度和表面粗糙度。 换算系数应用到正确的距离以改变配置。
选配硬件 | |
-FLVis |
Vis消色差聚焦透镜. WD:35mm. 光板尺寸: <0.5mm. |
-LP500 |
长通滤片, 波长范围在500nm以下. |
-FDHolder |
样品架朝下.测量透明和柔韧的样本 |
-TO |
选配透射率 |
-TO Switch |
2通道开关,结合测量反射率和透光率. |
- 2oW |
更改为20W (CT 3100o, 使用时间2000hrs) 钨卤素灯. |
-HR |
升级光谱仪分辨率<1nm |
- TR |
在输入/输出触发5V TTL。1外部(输入) |
软件选项 | |
-MOD |
基于Modbus标准远程控制(TCP) |
- CM |
不同测量与指定数量的测量和/或延迟 |