我们专注于超快激光的研究和应用,在全球率先开发出成熟的飞秒激光微加工系统,使得超快激光走出实验室。飞秒激光系统,飞秒激光加工系统价格,激光微结构加,激光折射率改变,太阳能面板激光加工,三维多光子聚合,光致刻蚀,飞秒激光划线,紫外激光微加工
这套飞秒激光微加工系统专业为科研机构的实验室而设计,配备高达纳米精度和分辨率的线性定位平台,配备超高性能的扫描振镜以及多功能的控制软件。
我们提供的标准系统的参数配置是激光脉宽<200fs--10ps,重复频率1-1000KHz, 平均功率高达12W, 波长1030nm, 515nm, 343nm, 258nm。
特色:
*高速微加工
* 亚微米分辨率处理高难度物体
× 飞秒微加工模式对加工区的热影响最小化
* 纳米精度的定位
* 精密激光束传导系统
* 非常方便改变激光参数
* 软件控制所有的硬件 飞
软件控制功能:
* 控制XYZ定位平台
*控制扫描振镜
* 控制激光参数
* 控制机械视图
* 偏振态
* 控制激光在工作区的功率
应用
* 表面微结构加工,微纳结构加工,微结构构造,微纳结构构造;
* 透明材料的折射率改变;
* 太阳能面板加工;
* 2.5D铣销加工* 三维多光子聚合;* 光致刻蚀;
* 激光划线
整套系统的强劲优势:
* 高达4倍频的4种波长激光光源
* 改变聚焦光学器件
* 定位聚焦光束
× 自动聚焦光束到样品表面
* 自动确认样品的倾斜程度
* 对加工过程进行成像监控
标准配置参数
光束整形和控制 | 脉冲拾取器 | 内置,自动控制 |
振镜扫描(可定制) | 高达10m/s的扫描速度 5x5 | |
聚焦光学 | 采用高数值孔径球面镜或物镜 焦距1.45--18.4mm | |
监控CCD(可定制) | 1920x1080像素 16bit输出 | |
定位平台 | 类型 | XYZ,线性电机,滚轴轴承类型或气浮轴承类型 |
最大位移速度 | 350mm/s | |
工作区域 | 160x160mm | |
分辨率 | 1nm | |
定位精度 | +/-300nm | |
可重复度 | +/-50nm | |
定位为定性 | 3nm | |
样品夹具 | 真空卡盘 vacuum chuck | |
激光参数 | 激光工作物质 | Yb:KGW |
激光波长 | 1028nm+/-5nm | |
功率 | 4W (6W,8W,10W可选) | |
振荡器输出功率 | 0.7-1.5W | |
脉冲能量 | 最大1mJ | |
重复频率 | 200KHz (600KHz,1000KHz可选) | |
脉宽 | <200fs---10ps 可变,振荡器<80fs | |
光束质量 | M2<1.2 | |
输出脉冲稳定性 | <1% RMS | |
倍频器 | 类型 | SH(515nm), TH(343nm), FH(258nm) 需选择 |
转换效率@200KHz | >50% SH, >30% TH, >10% FH, | |
软件特色 | 激光光束控制功能 | 激光输出,电动化衰减激光能量 |
定位平台控制 | 2.5K微加工,3DXYZ命令 | |
控制界面 | 软件窗口,Virtual或GUI 手柄 | |
图像格式 | bmp, plt | |
工作站尺寸 | 大小(WxDxH) | 1.2x1.8x2m (加外壳时) |
重量 | 最大重量500Kg (加外壳时) | |
工作环境需求 | 电力需要 | 3-4KW |
环境温度 | 15-30℃ | |
相对湿度 | 20-80% | |
激光安全等级 | I级 |