薄膜应力测量系统_光伏研发网-sinton少子寿命测试仪-WEP电化学ECV-CDE四探针接触电阻测试仪 PVtools wct-120 CVP21 TLM

技术指标：

•1.XY双向程序控制扫描平台扫描范围：200mm；300mm (XY)（可选）；

•2.XY双向扫描速度：最大20mm/s；

•3.XY双向扫描平台扫描最小步进/分辨率：2 μm ；

•4.薄膜应力测量范围：5×104Pa to 4×109Pa）；

•5.薄膜应力测量分辨率：优于0.1MPa;

•6.测量精度：优于±0.1%；

•7.测量重复性：优于0.1%；

•8.平均曲率分辨率：< 2e-5 (1/m) 1-sigma (100km radius) ；

•9.平均曲率重复性：<2×10e-5 1/m；

主要特点：

•1.程序化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、全面积扫描；
2.成像功能：样品表面2D曲率成像，定量薄膜应力2D成像分析；
3.测量功能：曲率、曲率半径、应力强度、应力和翘曲等；
4.支持变温热应力测量功能，温度范围-65C to 1000C；
5.薄膜残余应力测量；

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薄膜应力测量系统