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分类名称： 薄膜沉积设备PECVD 脉冲激光沉积系统PLD 原子层沉积系统ALD
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In-Line PECVD system for HIT junctions 用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系统
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Silicon Nitride Coating Systems for Multi-crystalline Silicon Solar Cells
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R&D Cluster tools
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Deposition Systems
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MProbe Vis 微点薄膜厚度光学测量仪
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脉冲激光沉积系统 (PLD)
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原子层沉积技术（Atomic Layer Deposition）
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单腔室和多腔室薄膜沉积设备
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脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition，PLD）
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