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嵌入式膜厚测量仪  
嵌入式膜厚测量仪
Ø 自由搭配的光纤架构,可安装于生产线上、半导体晶圆研磨设备或真空镀膜设备中。 Ø 远端同步控制、高速多点同步测量等。 Ø 丰富多样的光学系统套件与应用软件,提供特殊环境下最理想的膜厚解决方案。
反射式膜厚测量仪  
反射式膜厚测量仪
FPD-LCD、TFT、OLED(有机EL) 半导体、复合半导体 矽半导体、半导体镭射、强诱电、介电常数材料资料储存 -DVD、磁头薄膜、磁性材料 光学材料 -滤光片、抗反射膜 平面显示器 -液晶显示器、膜膜电晶体、OLED 薄膜-AR膜 其他-建筑用材料
LED光色电检查系统(半球)  
LED光色电检查系统(半球)
HalfMoon为大塚电子株式会社的登记商标。 积分半球构造: * 半球状的积分球利用镜面的反射虚象,构成对称的全球状的积分球。 * 光源点灯器设置于积分球外部,可搭配散热器散热。