CDE 提供自动计算机量测的阻值量测四点探针量测机台。 优点简述如下: 1.自动决定量测范围 2.Dual Configuration消除因探针头与量测面接触之位置误差 3.高throughput 4.提供软件针压测试，最佳化下针条件，同时避免薄片易破裂 5.内建公式，可直接量厚度 6.温度补偿  7.提供针头自动清洁conditioning 功能 8.具双针头切换使用功能 9.体积小，稳定性高   10.与机台结合的整合性Wafer Handler