Zeta-300 光学轮廓仪 表面轮廓测试系统

最顶级的3D成像及测试系统 （为用户量身打造的表面轮廓测量设备，是表面量测领域的最佳选择 ） Zeta 3D光学轮廓仪可以对近乎所有材料和结构的样品进行测试, 从低反射率高粗糙度的太阳能电池片到高精密抛光的磁盘介质，甚至包括高纵横比结构的微机械部件和多层结构的微流体其器件。 Zeta强大的研发能力还提供特种应用的设备定制服务，精密的光学测试系统和灵活自动的测试软件包让用户的测试工作变得更加灵活简单。 
   

     
应用领域
  Zeta-300 测试系统支持多功能测试选项，根据客户实际需求可配备自动化机械手臂、全自动分析软件等。高精度和高重复性的设备性能是科研和工业生产最理想的选择。如下为实际应用举例：
 
 
 
  ◆ LED,PSS&缺陷监控
 
  PSS和PR的图案高度、宽度和周期 AOI缺陷测试，包括平片、PSS片、PR片、外延片 2寸、 4寸和6寸吸真空载台 
 
  ◆ 微流体和MEMS器件结构分析
 
  透明或半透明的多层结构分析高纵横比结构分析，如深沟壑、深井状结构等灵活的测试工具，如cursors和cross-sections
 
  ◆ 自动化测试软件包
 
  ·多点自动序列量测
  ·多种不同视场的三维成像
  ·自动图像扫描及拼接
  ·自动倾斜度及及波度补偿
  ·自动参考面放平自动高度、尺寸、角度和面积测量。
 
 

 

   
特点
 
    ◆ 多功能光学测试模组
 
  ·Zeta-300测试系统提供多种光学测试技术，满足用户各种领域的测试需求：
  ·ZdotTMZ点阵专利3维成像技术，是Zeta所有系列产品的标配技术
  ·ZIC干涉反衬成像技术，实现亚纳米级粗糙度表面的成像及量化分析
  ·ZSI白光差分干涉技术，搭配任意物镜实现Z方向超高分辨率的测量能力
  ·Zx5白光干涉技术。保证Z方向高分辨率测量的同时，提供大视野范围内的测量和统计分析
 
  ◆ 测试速度快
 
  1分钟内完成所有类型样品的3D扫描成像及统计分析，其超高的分辨能力甚至可以对纳米级的缺陷进行成像。
 
  ◆ 操作简单
 
  自动化测试程序，一键式操作过程，测试菜单设置简单，30分钟培训速成，结果输出直观。
 
  ◆ 功能强大
 
  支持Zeta所有的测试技术，满足用户对不同样品的测试需求，包括Zeta现有的光学轮廓测试技术、粗糙度和台阶高度测试技术等。 

技术规格
 

 

  产品尺寸(mm)
 

  系统(长X宽X高)：510x725x773
   主机：381x457x102
   显示器：596x449x240
   总重量：145lbs/65kg
 

  操作规范
 

  电压:100-230VAC
   电流:4A
   工作温度:18-30oC，非冷凝，±1℃每小时
 

  性能配置 
 

  3D成像:~1秒/点(ZiC)~10秒/点(ZSi)~25秒/点(ZDot)
   像素分辨率:0.09μm(0.5x耦合镜配合100x物镜)
   最小Z轴步距:2nm(压电陶瓷载台)13nm(Z轴精密丝杠传动)
   Z轴分辨率：0.5(ZSi)
   13nm(Zdot)
   重复性3：7nm(1σ)
 

  系统配置 
 

  相机选项：640x480,1024x768,1280x960
   总放大率：35,000x(光学和数字放大)
   系统光源：3个大功率白光LED
   自动载台：150mmx150mm(XY方向)
   Z轴测试范围：40mm