样品本色三维轮廓仪:ZETA-20 具备多模式光学技术的样品本色三维非接触式光学轮廓仪,最顶级的3D成像及测试系统 （为用户量身打造的表面轮廓测量设备，是表面量测领域的最佳选择 ）
关键词:本色三维轮廓仪 ZETA-20 三维非接触式光学轮廓仪轮廓仪 3D显微镜
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特点
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◆ 功能齐全，操作简易，用途广泛的Zeta-20
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| ZDotTM专利技术擅于对高粗糙度、低反射率的表面进行成像分析 |
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·具有防反射涂层的太阳能电池片
·图形化/蚀刻的LED基板
·生物微机电、微机电系统和微流体槽
·透明的多表面样品成像
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| 快速获取数据 |
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·可配置快于10秒扫一幅三维图像的采集速度
·简明易学的软件操作界面
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强大的三维分析功能
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·台阶高度、粗糙度、面积、体积、角度及其它表面属性
·数据输出格式与常见的第三方分析软件可兼容 |
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| ◆ 高度的灵活性 |
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测量复杂的表面特征
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从深槽到金刚石钢线，Zeta-20强大的成像能力可对各种复杂表面进行测量。通常这些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而无法用其它设备测量。
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选项配置齐全
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在科研过程中所涉及的样品表面类型往往难以预测。因此，Zeta-20使用模块化设计理念，为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求。
·薄膜厚度光谱仪
·可测量纳米级粗糙度的QDIC/Nomarski选项
·iX5干涉物镜
·Z轴分辨率高达2nm的压电陶瓷载台
·倾斜载台和真空吸附卡具
·自动特征提取和测量软件
·自动表面面积测量、统计分析 ...以及其它众多选项！
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| ◆ 特定行业的测量应用 |
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太阳能电池片表面分析：
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·自动测量栅线的高度、宽度和体积
·单晶硅和多晶硅表面面积和绒面分析
·氮化硅防反射层薄膜厚度测量
·多点、自动栅线测量
·156mm太阳能电池片真空吸附载台 |
| LED 和图形化蓝宝石基板(PSS)分析 |
·自动测量PSS高度、尺寸和周期
·分析光阻和蚀刻后PSS特征
·自动定位和测量外延后Mesa的粗糙度
·适用于2"、4"和6"晶圆的真空载台 |
| 微流体和微机电的测量分析 |
·透明的多层表面轮廓测量
·深槽、深井以及其它高纵深比的特征点测量
·灵活的、可自定义的横截面及测量点的设置 |
| 简便、易用的测量方法 |
·自动载物台支持多点测量序列和三维图像拼接
·自动坡度和波度补偿
·自动将待测表面调成水平
·自动测量高度、尺寸、角度、面积和体积
·自动测量线粗糙度和面粗糙度 |
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技术规格
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性能配置
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数据获取： 小于10秒(200步扫描)
3D扫描： 每秒大于30步
像素分辨率： 0.031μm (1X耦合镜、150X物镜)
Z轴分辨率： 0.002 μm (压电陶瓷载台)
重复性(1σ): 0.006 μm (压电陶瓷载台和防震桌)
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标准功能
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相机选项： 640x480, 1024x768,
1280x960像素
放大倍率： 45000X (光学加数字)
照明： 双重高亮度白光LED
手动载台： 100mm x 100mm XY移动距离
Z轴移动距离：40mm
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优势
- 细栅线和主栅线的自动测量
- 单晶和多晶硅绒面测量
- 对裸露的和AR涂层的表面清晰成像
- 提供重要的统计数据，如尺寸，高度分布和体表面积比
绒面（单晶硅金字塔)
单晶硅绒面
金字塔尺寸、高度分布直方图以及重要的统计数据，如金字塔密度和体表面积比都会被Zeta综合太阳能软件自动计算并提供详细报告。
绒面（多晶硅腐蚀坑)
多晶硅绒面
腐蚀坑尺寸、深度分布直方图以及重要的统计数据，如腐蚀坑密度和体表面积比都会被Zeta综合太阳能软件自动计算并提供详细报告。
细栅&主栅测量
细栅线测量
Zeta的高动态范围（HDR）成像系统能够对沉积在非常暗的表面上的高反射率金属细栅线进行精确的三维轮廓成像，并且能够自动测量细栅线宽度，高度和体积等重要参数。
主栅线测量
Zeta创新的HDR成像系统是行业内第一家能够自动精确测量主栅线宽度和高度的非接触式光学轮廓仪。
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