工业级飞秒激光微加工系统

工业级飞秒激光微加工系统

这套飞秒激光微加工系统专业为工业微加工研究和生产而研发的成熟的超快激光微加工系统，可用于飞秒激光打孔,飞秒激光蚀刻,飞秒激光多光子聚合,具有非常绝佳的可靠性和超高的加工速度。

这套飞秒激光微加工系统采用了先进而成熟的飞秒激光器和飞秒激光放大器。飞秒激光器由于激光脉冲超短，提供了常见激光无以伦比的激光功率密度，其加工效果远远超过纳秒和皮秒激光。光束所到之处能够瞬间将材料汽化，由于激光脉冲超短，激光能量无法在如此短的时间内扩散到周围材料中，所以加工效果堪称一流。
这套飞秒激光微加工系统,超快激光微加工系统，采用高达10W的Yb:KGW(1030nm)飞秒激光器作为激光光源,重复频率在1--1000KHz范围内可调，结合一流的精密扫描振镜,提供超高的微加工速度。
高达纳米尺度的分辨率配备Arotech公司高分辨率的定位平台，并同步激光光束扫描振镜和脉冲选择器, 在空间，时间和能量上提供全方位高精度控制。从而提供超高难度的加工能力，并达到亚微米精度的分辨率和重复性。
机械视图系统配备机械视图系统,使用高分辨率的相机监控加工过程。

飞秒激光器激光光源
这套飞秒激光微加工系统使用了贴别为微加工而设计的飞秒激光器，它比市场上出售的商业飞秒激光器具有更多优势。该飞秒激光放大器具有更高的稳定性和可靠性，达到工业使用的标准，飞秒激光放大器具有更短的脉冲(振动器<80fs， 放大器<280fs)，飞秒激光器具有更高的平均功率（振荡器高达2W, 放大器为6W），而且激光重复频率可调，计算机监控并控制激光。

激光放大器参数	波长	1030nm
	平均功率	6W
	重复频率	1-1000KHz可调
	脉宽	<280fs-10ps计算机控制
	最大脉冲能量	1mJ
	输出稳定性	<1%
	光束质量M2	<2
	脉冲选择器
	多种频率选择	SH, TH,FH可选
激光振荡器参数	功率	>1W
	脉宽	<80fs
	重复频率	76MHz

 

  飞秒激光微加工系统特色

超高加工速度：高达350000像素/飞秒微细加工模式下具有最小的热影响区

工作面积高达：150x150mm

使用高性能振镜控制精密激光光束

激光脉冲数可控（1-350KHz)飞

飞秒激光微细加工系统涉及技术

飞秒激光钻孔，飞秒激光切割，飞秒激光打孔，飞秒激光钻洞; 
飞秒激光烧蚀,飞秒激光蚀刻,飞秒激光雕刻;
2.5D铣，自定义模型划线,
表面微纳结构价格
改变材料的折射率,飞秒激光材料改性
飞秒激光三维多光子聚合;
光学微操作……  

应用
MEMS制造掩膜制造和修理微片修复    燃料电池材料制造LIBWE,医疗应用激    光诱导扩散微光学   光子晶体  衍射光学元件制造
波导和微透镜的制备 飞

例子：