电化学ECV|掺杂浓度检测招标要求

电化学ECV主要用于半导体材料的研究及开发，其原理是使用电化学电容-电压法来测量半导体材料的掺杂浓度分布。
电化学ECV(CV-Profiler, C-V Profiler)也是分析或发展半导体光-电化学湿法蚀刻(PEC Etching)很好的选择。

电化学ECV可以用于太阳能电池、LED等产业，是化合物半导体材料研究或开发的主要工具之一。

载流子浓度分辨率:   < 10¹² cm^-3 to > 10²¹ cm^-3 .
深度分辨率: 1 nm to 100 um. 
样品尺寸: 4*2 mm  至 8" wafer   (smaller samples on request).

CVP21电化学ECV是半导体载流子浓度分布完美的解决方案：
1， CVP21应用范围宽，可以用于绝大多数的半导体材料。
* IV族化合物半导体如：硅(Si)、锗(Ge)、碳化硅(SiC)等…
* III-V族化合物半导体如：砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、磷化镓(GaP)等…
* 三元III-V族化合物半导体如：铝镓砷(AlGaAs)、镓铟磷(GaInP)、铝铟砷(AlInAs)等…
* 四元III-V族化合物半导体如：铝镓铟磷(AlGaInP)等…
* 氮化物如：氮化镓(GaN)、铝镓氮(AlGaN)、铟镓氮(InGaN)、铝铟氮(AlInN)等…
* II-VI族化合物半导体如：氧化锌(ZnO)、碲化镉(CdTe)、汞镉碲(HgCdTe)等…
* 其他不常见半导体材料(可以联系我们进行样品测量)。
2， CVP21可用于不同形态的样品：多层结构的薄膜材料、基底没有限制(基底导电或绝缘均可)、标准样品尺寸从4*2mm ~ 8英寸晶圆(更小尺寸样品请预先咨询我们)。
3， CVP21拥有很好的分辨率范围。
* 载流子浓度分辨率范围从< 1012 cm-3 ~ > 1021 cm-3
* 深度分辨率范围从1nm ~ 100um (依样品类型、样品质量决定)
4， CVP21是一套完整的电化学ECV测量系统。
* 系统可靠性高(仪器的电子、机械、光学、液体传动几个主要部分均经特殊设计)
* 免校准的系统(完全自校准的电子系统，电缆电容均无须用户再次校准)
* 易于使用(全用户管理软件优化，在实验室环境或生产环境均易于使用)
* 照相机镜头控制(过程在线由彩色照相机镜头控制；每次测量后，镜头数据均可取出。)
* 实验菜单(测量菜单预定义，优先权用户可以很容易修改或改进测量菜单)
* Dry-In/Dry-Out: Auto-Load/Unload/Reload (电化学样品池自动装载/卸载/再装载，优先权用户易于修改，进行样品dry-in/dry-out处理。)