设备名称: 四点探针电阻仪 (CDE ResMap)
主机厂牌、型号与附件: CDE ResMap
规格:
1. Pin material: Tungsten Carbide.
2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.
3. 样品尺寸: 2吋至6吋晶圆 (表面须为平整的导电薄膜)
设备用途: 导电薄膜的电阻值分布测量

 

cde四点探针应该是最常用的一种测方阻的仪器，而且特别经久耐用，只要在程序里设置好参数，直接运行就行了，它的功能听多的，可以描绘出等高线，计算出标准差等，是一个很好用的仪器，它也是要求有绝缘的衬底