飞秒激光太阳能电池加工系统

对于太阳能光伏产业而言，人们总是致力于降低生产成本，提高太阳能电池的效率的探究，在这种探索过程中，科学家发现激光加工，特别是飞秒激光加工给他们带了技术突破的希望。
这是因为，精密激光机加工技术带来了非接触式的加工方式，加工尺度可达微米量级，而且可以选择性移除材料，切割材料或调整C-Si晶圆上的薄膜。

    使用了飞秒激光加工，现在，人们距离达到太阳能电池理论效率极限已经越来越近了，人们可以通过生长精密薄层并进行飞秒激光的背接触处理而提高太阳能电池效率。如果激光的波长恰好是薄膜吸收的波长，激光加工的效果是非常具有保证的。目前，高稳定性，高重复频率，高平均功率的激光光源能够用于用也，当然，最重要是的激光的脉冲宽度，脉宽越窄，加工精度越高。因此，飞秒激光对于太能电池的效率提高非常重要。 

    背接触激光烧结和SiNx薄膜移除

       2009年，东欧国家和德国的一个联合项目中使用了飞秒激光太阳能电池加工系统，成功满足2MW生产线的使用。这套系统用于晶圆的激光打标，激光边缘隔离，背接触激光烧结，激光烧蚀以及介电质层的移除等工作。


    更为重要的是他们已经使用这套飞秒激光太阳能电池加工系统选择性移除发射极上的电介质层SiNx。使用343nm紫外飞秒激光进行激光剥离和烧蚀加工，当然激光的工作频率高达100KHz，平均功率也达到1.4W。 SiNx薄膜50-90nm厚，加工时必须精密的移除一部分SiNx,从而开出发射极而不对周围材料产生伤害，接下来就这个薄膜移除的区域覆盖一层镍，在镍层上再沉淀一层铜。通过这种办法，他们已经超精密地完成前向接触的加工，并使用铜代替昂贵的银，大大降低生产成本。