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半导体行业专用CDE ResMap 四点探针
 
   
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半导体行业专用CDE ResMap 四点探针

CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控,既超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的

  • 商品编号:CDE RESMAP
  • 货  号:273 & ResMap 463 468
  • 品  牌:CDE
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  (库存100)

CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控,既超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的

半导体行业行业标准,服务众多知名半导体工业用户!

CDE ResMap 四点探针 (ResMap 178)
  CDE 提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。快速,精确与软件控制下针、软件功能可最佳化下针压力,即使薄片量测也不易破裂。自动清针(Probe Conditioning);动作,双针头切换。太阳能使用可支持自动Loader,300mm 机台可使用Front End,最多扩充3个量测单元,支持Semi标准接口。


光伏测试专用美国ResMap四点探针
CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及专利自动决定范围量测与
传送,THROUGHPUT高 * 数字方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良
好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳
(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精
确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配
合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且
可以Recipe设定更换
CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控,超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的。

 

主要特点: 测量范围广,精度高,稳定性好,功能齐全强大,软件好用,维修成本低,服务好,配件齐全...
美国进口四探针电阻率测试仪(4PP)/方块电阻测试仪/太阳能光伏扩散薄层电阻测试仪(Four point probe(4PP))
设备名称: 四点探针电阻仪 (CDE ResMap)
主机厂牌、型号与附件: CDE ResMap
规格:
1. Pin material: Tungsten Carbide.
2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.
3. 样品尺寸: 2吋至6吋晶圆 (表面须为平整的导电薄膜,半导体材料)
设备用途: 导电薄膜的电阻值分布测量,半导体,光伏
特点:
1)针尖压力一致
2)适用于各种基底材料
3)友好的用户界面
4)快速测量
5)数据可存储
 
应用:
1)方块电阻

2)薄片电阻

3)掺杂浓度

4)金属层厚度

5)P/N类型

6)I/V测试

半导体行业专用CDE resmap 四点探针


半导体行业专用CDE resmap 四点探针

半导体行业专用CDE resmap 四点探针

 

提问
非会员顾客 说: 17-09-06 16:19
PN或NP反型外延片测试前需要预处理吗?
回答
管理员[Sinton instruments]  回复: 17-11-30 10:56
用四探针是不需要提前处理的
提问
非会员顾客 说: 12-05-31 14:47
ResMap178校正方法及用那一種標準器
回答
管理员[admin]  回复: 12-06-06 11:27
标准样片以前仪器自校准
提问
非会员顾客 说: 11-11-16 18:18
为什么四探针测半导体电阻率时样品要磨成粗糙的表面?
回答
管理员[admin]  回复: 11-11-16 18:20
为了使金属探针与半导体表面接触时形成欧姆接触。这是由于粗糙的表面存在很多复合中心,可破坏Schottky势垒的单向导电性,使得探针接触变成为欧姆接触,以便于测量电流和电压。
提问
非会员顾客 说: 11-09-27 10:31
cde四点探针应该是最常用的一种测方阻的仪器,而且特别经久耐用,只要在程序里设置好参数,直接运行就行了,它的功能听多的,可以描绘出等高线,计算出标准差等,是一个很好用的仪器,它也是要求有绝缘的衬底
回答
管理员[admin]  回复: 11-09-27 12:02
是的,操作非常简单

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